Category Archives: Subsidy

平成23年度戦略的基盤技術高度化支援事業 テーマ：　次世代パワーデバイス向け革新的手法を用いた成膜技術の開発

平成21年度ものづくり中小企業製品開発等支援補助金（試作開発等支援事業） テーマ：　液体薬品を極めて清浄なまま半導体製造装置等へ供給するための装置の開発

中小企業・ベンチャー挑戦支援事業のうち事業化支援事業 テーマ　「超高純度酸化シリコンの低温成長用新規シリコン材料の事業化」