平成21年度ものづくり中小企業製品開発等支援補助金

平成21年度ものづくり中小企業製品開発等支援補助金（試作開発等支援事業）

テーマ：　液体薬品を極めて清浄なまま半導体製造装置等へ供給するための装置の開発