CVDはさまざまな用途に使用されている主要な薄膜形成技術のひとつで、揮発性の有機金属化合物を熱やプラズマで分解し、基板上に膜を堆積します。 基板表面との相互作用により、被膜性の良い膜が形成されます。 ALDの材料はCVD …Read More >>
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Q. ALD材料とはなんですか？
ALDは真空装置内に設置した基板上に原料化合物の分子をモノレイヤーごとに 表面へ吸着・反応による成膜 パージによる余剰分子の取り除き のサイクルを繰り返し行うことによって原子層を一層ずつ積み上げる成膜方法です。 【ALD …Read More >>