ALDは、近年各種アプリケーションへの応用が飛躍的に増加し、半導体、化合物半導体デバイスのほか、MEMS/NEMS (micro/nanoelectromechanical systems)、光学薄膜、レーザー薄膜、コーティング、腐食防止、太陽電池などに代表される再生可能エネルギー、医療機器、生体材料、湿気防止のバリアー、装飾品のコーティング、ガラスのクラック防止の保護膜など、さまざまな分野に広がりを見せています。
それに伴い、高度な合成・精製技術により製造されるJACの化学材料も、幅広いアプリケーションに採用されています。
どんな材料を選んだらいいか迷っていらっしゃるときには、ぜひご相談ください。貴社のプロセスに最適な材料を提案させていただきます。
JACの材料は、主にこのような分野で使われています。
コーティング
食品包装素材の機能向上、機械部品や自動車部品など鉄鋼材料への耐腐食性、金型の剥離性向上など、さまざまな目的のコーティングで使用されています。
ガラス、金属、プラスチックの表面にコーティングすることで、機能を付与し付加価値を高めるのがこれらのコーティングの狙いです。
プロセスの低温化・薄膜化・密着性・均一性などの問題の解決にも役立っています。
代表的な材料
- Trimethylaluminum (TMA)
- Trimethylborane (B(CH3)3)
- Methyltrichlorosilane (CH3SiCl3) など
半導体
半導体とは、電気を通しやすい銅やアルミニウムなどの「導体」と、電気を通さないゴムやガラスなどの「絶縁体」との中間の性質を持つ物質のことです。
元素のうち、半導体として利用できるものはシリコン、ゲルマニウムなど数種類しかなく、中でもシリコンは半導体材料として安定しているため、現在半導体製品の多くがシリコンを主原料としています。
代表的な材料
- Tris(dimethylamino)aluminum (TDMAA)
- Bis(ethylcyclopentadienyl)Ruthenium (Ru(EtCp)2)
- BEMAS:Bis(ethylmethylamino)silane (BEMAS) など
化合物半導体
シリコン半導体がシリコンというひとつの元素を材料にしているのに対し、複数の元素を材料にしている半導体のことを言います。その組み合わせはいろいろありますが、代表的なものとして周期律表のIII族と㈸族(GaAs、GaP、InPなど)、あるいはII族とVI族(CdTe、ZnSeなど)、IV族同士(SiC)の組み合わせがあり、それぞれ異なった機能を果たします。
化合物半導体は、シリコンデバイスでは不可能な高速処理に優れており、携帯電話、光通信、白色発光ダイオードなど、日常生活の中で幅広く使用されています。
代表的な材料
- Bis-cyclopentadienylmagnesium (MgCp2)
- Tert-Butylamine (TBA) など
二次電池
二次電池は、使い切ったら充電して何度でも再利用できる電池のことで、ニカド電池やニッケル水素電池、リチウムイオン電池などが知られています。
中でも、小型化・高出力のリチウムイオン電池は、ニカド電池や小型のニッケル水素電池からのシフトと、携帯電話、ノートパソコンなどのモバイル機器、ハイブリッド車の車載用電源などの生産増により市場が拡大しています。
リチウムイオン二次電池の主要材料は正極活物質、負極活物質、電解液、セパレータです。JACでは正極用の材料として、Li化合物等を提供しています。
代表的な材料
- Li(t-OBu)など
太陽電池
太陽電池は大きく「シリコン系」・「化合物系」・「有機系」の3つに分けられます。
現在最も広く太陽光発電システムに使われている太陽電池は、シリコン半導体によるものが大部分です。
JACでは、シリコン太陽電池のn型P拡散やn型ZnO膜に使われている材料などを提供しています。
代表的な材料
- Phosphorus oxychloride (POCl3)
- Diethylzinc (DEZ) など