Q. CVD材料とはなんですか？

CVDはさまざまな用途に使用されている主要な薄膜形成技術のひとつで、揮発性の有機金属化合物を熱やプラズマで分解し、基板上に膜を堆積します。
基板表面との相互作用により、被膜性の良い膜が形成されます。
ALDの材料はCVDにも利用可能です。