【連続式センサー】
超音波を利用して容器内にある化学薬品の実際の量をリアルタイムで測定する連続式タイプのセンサーで、半導体、液晶や太陽電池などのCVD/ALDプロセス装置に採用されています。そのほかにも、化学薬品を使用しているさまざまな産業現場で使用することができます。
【定点式センサー】
超音波を利用して設定された液面レベルにおいて化学薬品の有無を検出するセンサーで、半導体・液晶や太陽電池などのCVD/ALDプロセス装置に採用されています。そのほかにも、化学薬品を使用しているさまざまな産業現場で使用することができます。