当社では、簡単な成膜装置（PECVD、ALD）を社内に所有していますので、お客様の用途に合わせた成膜テストが可能です。
基板サイズはチップサイズから2 inchサイズステージまで対応いたします。また成膜材料の熱安定性や分解温度、蒸気圧など実際に原料を反応炉に供給する上で必要なデータを実材料と実装置を用いて得ることもできます。
「小さな基板でいいからどんな条件でどんな膜ができるか確認したい」、「成膜は社内でできるが装置改造前にその条件をある程度見極めたい」、そんな時にはぜひお問い合わせください。
