当社の多目的薄膜材料開発用成膜プラットフォームが、第34回神奈川工業技術開発大賞（神奈川県と神奈川新聞社の共催）のビジネス賞を受賞しました。
2017/10/23 神奈川県庁大会議場にて、黒岩知事から表彰を受けました。
（神奈川県・神奈川新聞社提供）
（神奈川県・神奈川新聞社提供）
【神奈川新聞Web版】
http://www.kanaloco.jp/article/286897
1. 多目的薄膜材料開発用成膜プラットフォームの概要
従来市販されている薄膜成膜装置とは異なり、短時間での装置仕様変更が可能な装置です。
成膜室は超高真空仕様で、新規化学材料ガスに応じた適切なガスラインを複数種類備えており、十数種類のガスを使った試験を可能にしました。
また、複数のプラズマに対応しているマルチユースを実現しました。
更にステージ温度も900℃を実現し、次々世代素材として期待されているナノカーボン系薄膜の成膜も可能にしています。
本成膜プラットフォームを活用することで、様々な最先端技術に対応した薄膜成膜試験を簡便に実施できるようになりました。
多目的薄膜材料開発用成膜プラットフォーム [PDFファイル／332KB]
2. 神奈川工業技術開発大賞について
「神奈川工業技術開発大賞」とは、神奈川県と神奈川新聞社の共催により、昭和 59 年度から毎年度、技術開発の奨励と技術開発力の向上を図ることを目的に、県内の中堅・中小企業が開発した優れた工業技術・製品に贈られます。
また受賞技術・製品は、工業技術見本市「テクニカルショウヨコハマ2018」の県のブースで、展示される予定です。
当社の技術のベースは、「化学材料合成・精製技術」と「成膜技術」です。
今後とも新技術の開発に積極的に取り組み、さらなる技術力の強化と新しい価値の創造に努めてまいります。