この数年でGO-Element社の液面検知計の販売実績が飛躍的に伸びています。
過去、液面検知計の用途はポイント式（定点式）センサーを用いて「もうすぐ材料が無くなることを認知する」ことでした。
しかし、連続式センサーの性能・信頼性の大幅な向上により、その用途が大きく変わってきています。
容器のデザインの最適化や薬液の特性に応じたコントローラーの設定を行うことにより1mmの液面変動を測定できることから、ほんの少量の材料消費量も算出できるようになります。
つまり成膜工程で消費している材料の量をかなり細かく監視できるようになるわけです。
材料供給系に異変が起こっていないかを知る上でも有効ですし、加熱による材料の分解を予見できる可能性もあります。
材料容器には常に配管が接続されていますので重量管理による微細な材料消費量の把握は不可能です。
安価なデバイスではありませんが、得られたデータを活用することによって導入する価値が大幅に上がると思います。
