昨今、ALD/CVDの用途拡大に伴って新しい有機金属化合物を合成することが多くなりました。
できれば成膜するエンジニアの方が使いやすい蒸気圧が高く安定な成膜材料を提供したいのですが、蒸気圧が低い材料や熱安定性に乏しい材料を選択するしかなくなる場合があります。
これら扱いが難しい成膜材料は、開発時のスポット成膜では問題ないのですが、量産時の連続成膜で大きな障害になることが予測されます。
当社は成膜材料のみならず材料用容器も設計・製作事業を持っており、成膜装置も所有しています。
このような事業環境を最大限活用し、「反応炉に導きにくい成膜材料を安定的に供給できるようにするハードウエア」を大きな開発テーマとしています。
充填容器のデザイン、新たな材料気化方法の開発、容器・配管の温度制御方法、正確な流量制御、パージ効率の向上などたくさんの課題と向き合っています。
それぞれ専門のハードウエアメーカーさんとも連携しながら、これら数多くの課題を一つ一つ解決していきたいと思っております。
