シリコン酸化膜及び窒化膜低温成長用新規アミノシラン化合物（BEMAS）の作製と評価 学会発表（国内） 投稿日: 2015年8月12日2015年9月30日 シリコン酸化膜及び窒化膜低温成長用新規アミノシラン化合物（BEMAS）の作製と評価 2008年春 応用物理学会、野津定央、安原重雄、遠藤和彦
