ステンレス容器【削り出し容器】

GO Element社製品

自社容器だけでなく、韓国のGO Element社製のステンレス容器を取り扱っています。
削りだし容器を中心にさまざまな容量や形状の容器の提供が可能です。

また、超音波を利用して容器内にある化学材料の残量をリアルタイムで測定するセンサーや、設定された液面レベルにおいて化学材料の有無を検出するセンサーなど、高精度な液面センサーも用意しています。窓のないステンレス容器内の液体残量を把握するために、これらの液面センサーは非常に役に立ちます。
この製品は、半導体・液晶や太陽電池などのCVD(Chemical Vapor Deposition) / ALD(Atomic Layer Deposition)装置に採用されているほか、化学材料を使うさまざまな産業現場で利用できます。

半導体製造で多くの実績のあるGO Element社の製品についても、お気軽にお問い合わせください。

ステンレス容器

標準的な削りだし容器や連続式レベルセンサー、定点式レベルセンサー等各種液面検知センサーに対応した容器です。

超音波連続式レベルセンサー Continuous Level Sensor

連続式液面センサーは、超音波を利用して容器内にある化学薬品の残量をリアルタイムで測定する連続式タイプのセンサーで、プローブとコントローラーで構成されています。

コントローラーから一定の間隔でプローブに内蔵された圧電素子に信号を送信すると、信号を受信した圧電素子は超音波を生成して一定の方向に放出します。

放出された超音波は液面に反射し、もう一度液体原料を通過してセンサープローブの下端にて検出されます。

コントローラーはプローブを使用して測定された超音波の応答時間と超音波の速度を演算し、これにより容器内にある液体原料の実際の量を確認できます。
連続式液面センサーは、固体と液体は通過するが気体は通過できないように超音波の周波数帯域を設定しており、媒質の特性に応じた超音波の速度データを適用しております。

超音波定点式レベルセンサー Point Level Sensor

定点式レベルセンサーは、超音波を利用して設定された液面レベルにおいて化学薬品の有無を検出するセンサーで、プローブとコントローラーで構成されています。

コントローラーから一定の間隔でプローブに内蔵された圧電素子に信号を送信すると、信号を受信した圧電素子は超音波を生成し、測定用の間隙に向かって放出させます。
測定用の間隙に液体が満たされていた場合、超音波は液体を通過して受信部に到達し受信した信号をコントローラーに送信、指定した液面レベルで化学薬品の有無を判断します。
定点式レベルセンサーは、固体と液体は通過するが、気体は通過できないように超音波の周波数帯域を設定しています。